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XTrace -基于SEM高性能微区荧光光谱仪

2015-4-17 13:59| 发布者: fansiyuan| 查看: 852| 评论: 0

摘要: XTrace是一款可搭配在任意一台具有倾斜法兰槽 SEM上的微焦点X射线源。利用该设备可使SEM具备完整意义上的微区 XRF光谱分析能力。对于中等元素至重元素范围内的元素,其检测限提高了 20-50倍。此外,因为X射线的信号 ...


       XTrace是一款可搭配在任意一台具有倾斜法兰槽 SEM上的微焦点X射线源。利用该设备可使SEM具备完整意义上的微区 XRF光谱分析能力。对于中等元素至重元素范围内的元素,其检测限提高了 20-50倍。此外,因为X射线的信号激发深度深于电子束,利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。

       本设备采用了X射线毛细导管技术,利用该技术,即使在非常小的样品区域也能产生很高的荧光强度。X射线毛细导管将X射线源的大部分射线收集,并将其聚焦成直径35微米的一个X射线点。
       利用QUANTAX EDS*系统的 XFlash®系列电制冷能谱探头即可对所产生的X射线荧光光谱进行采集。 XFlash®电制冷能谱探头使整个系统具备了非常高的能量分辨率,同时兼具了强大的信号采集能力。比如,利用有效面积 30 mm²的探头在分析金属元素时的输入计数率可达 40 kcps。
       X射线毛细导管技术使荧光强度得到极大的增强,同时,荧光光谱的背底较低,这些 都提高了系统对痕量元素的敏感度。相较于电子束激发的信号,其检测限可提高 20-50倍。而且,因为X射线源激发信号对于高原子序数元素更有效,所以高原子序数元素检测限可提高至 10ppm。
QUANTAX能谱仪系统和微区荧光光谱仪系统可在同一用户界面内结合使用,从而互相补强,实现定量分析结果的最优化。

用户友好型设计
聚焦于分析任务,而非繁琐的系统设置

       利用ESPRIT HyperMap进行面分布分析的同时采集了所有的数据并存储,便于后续的离线分析。
       样品可利用 EDS系统和 micro-XRF系统并行进行分析,而无需任何的样品移动。
       两种分析方法无缝整合在同一分析软件 ESPRIT中,切换分析方法只需轻点鼠标。
       XTrace不会干扰任何 SEM及EDS操作。
仅需点滴投入,即可获得独立微区荧光光谱仪的强大功能
       分析结果可与独立系统媲美。
       样品倾斜后可对更大区域进行面分布
       提供三个初级滤片以压制衍射峰
       直接利用扫描电镜样品台,无需其他的样品台装置。
       通过扫描电镜样品台的旋转轻松避免谱图中衍射峰的出现。
       可倾斜样品以获得最小束斑直径。


样品倾斜前后分辨率比较
(样品:铬星状线条扫描步长: 25 µm左图:样品台未倾斜右图:样品台倾斜 30°以朝向X射线源,显示了更好的空间分辨率。)


原理图

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